外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量
规格
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量
规格
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最大吐出量 |
55 L/min |
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最大吐出压力 |
0.5 MPa |
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最大耗气量 |
670 NL/min |
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最大冲程率 |
240 spm |
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主要材质 |
PTFE, PFA |
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液体输送温度范围 |
5 ~ 180 °C |