适用于各类供药系统，吐出量达100L/min
高速冲程
高速冲程 (FS-80N最高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。
无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生。
高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格
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最大吐出量 |
100 L/min |
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最大吐出压力 |
0.7 MPa |
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最大耗气量 |
1495 NL/min |
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最大冲程率 |
100 spm |
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主要材质 |
PTFE, PFA |
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液体输送温度范围 |
5 ~ 60 °C |